中國大陸半導體前道制造設備數據月報（2022-122）

半導體行業綜研|Semiconductor industry|

2023-02-24 09:41:36 715

數據概覽：

根據中國大陸海關說明，半導體前道制造設備可分為以下類別，分別對應前道制造中的熱處理、CVD、PVD、其他沉積、光刻、干法刻蝕、其他刻蝕與離子注入等流程。

以下為數據的統計結果圖表：

*近3月，中國大陸半導體前道制造設備進口金額為3919.5百萬美元，較去年同期下降28.8%。除了其他沉積設備進口金額增加以外，其余設備進口金額同樣均有不同比例的減少。但是，由于其他沉積設備進口金額占比僅有1.7%，其意義不明顯。所以，中國大陸半導體前道制造設備進口總體呈下降趨勢。

熱處理設備數據明細：

2022年自10月起，熱處理設備進口金額明顯減少，10~12月的總進口金額為337.8百萬美元，同下降22.9%，環比下降24.8%。如下圖所示，來自日本的進口占比長期過半，2022年占比近六成；相比于2022年上半年，下半年來自美國的進口金額大幅下降，環比下降69.4%。

CVD設備數據明細：

盡管*近3月CVD設備進口金額同比下降22.3%，但這很大程度上是因為于2021年11月異常高的數值，相比于熱處理設備，CVD設備的進口金額較為平穩。按貿易地區看，2022年，來自馬來西亞的進口金額大幅增加，同比增長超五倍。

PVD設備數據明細：

*近3月，PVD設備的進口金額為205.9百萬美元，環比下降43.8%。如下圖，雖然在2022年來自新加坡的進口金額所占比重*大，但在10~12月，來自新加坡的進口金額明顯下降，在10月無進口，同比下降82.3%，環比下降89.3%。

其他沉積設備數據明細：

其他沉積設備進口金額在各設備中占比*小。2022年，其他沉積設備的進口金額波動較大。來自各貿易地區的進口金額同樣具有高波動性，以美國為例，在1~9月，來自美國的進口金額占比為49.5%，接近一半；到了10~12月，這個數字卻僅有29.7%。

步進光刻設備數據明細：

在2022年，步進光刻設備的進口金額比較穩定，但12月的進口金額明顯下降。如下圖所示，荷蘭與日本兩國幾乎壟斷了步進光刻設備在中國大陸的進口，2022年來自其他貿易地區的進口金額占比僅1%；其中，來自荷蘭的進口金額遠大于日本，2022年來自荷蘭的進口金額占比達71.3%。

其他光刻設備數據明細：

相比于步進光刻設備，其他光刻設備的進口金額在2022年則波動較大。以貿易地區來看，荷蘭與日本同樣占據了大部分進口，但其他貿易地區的占比相較步進光刻設備稍大一些，*近12月占比4.2%。

干法刻蝕設備數據明細：

自2022年9月起，干法刻蝕設備進口金額明顯減少。10~12月，總進口金額為719.3百萬美元，同比減少26.1%，環比減少34.1%。如下圖，在2022年，來自美國的進口金額占比顯著減少，來自馬來西亞的則顯著增加。2022年，來自美國與馬來西亞的進口金額占比分別為17.8%與19.3%，去年的這組數字為31.7%與7.8%。

其他刻蝕設備數據明細：

其他刻蝕設備的進口金額在2022年整體呈下降趨勢，*近3月，進口金額為148.7百萬美元，同比減少45.6%。2022年，來自日本的進口金額占比近六成；來自韓國的年進口金額則大幅減少，同比減少63.3%。

離子注入設備數據明細：

2022年下半年，離子注入設備進口金額走勢與去年同期十分相似，較為穩定，*近3月進口金額同期下降8.6%。美國是離子注入設備的主要進口來源，2022年，來自美國的進口金額占比達67.5%。但是在12月，來自美國的進口金額大幅減少，來自日本的則大幅增加。

其他設備數據明細：

2022年，其他設備的進口金額走勢較為穩定，年進口金額為2243.6百萬美元，同比減少13.2%。如下圖所示，來自日本的進口金額占比長期約50%；來自奧地利的進口金額在2022年大幅增加，同比增加50.7%。

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