色偷偷亚洲精品一区-色偷偷五月天-色偷偷久久一区二区三区-色偷偷狠狠色综合网-国产99久9在线视频-国产99久9在线

/ EN
13922884048

資訊中心

information centre
/
/
/

寸土寸金的晶圓為啥要留平邊(flat)或凹槽(notch)?

發布時間:2024-09-19作者來源:薩科微瀏覽:2495

晶圓上留下的平邊(flat)或凹槽(notch)主要用于幫助在制造和處理過程中確定晶圓的類型、摻雜和晶向等信息。

1. 晶圓的晶向識別

硅晶圓是由單晶硅錠通過切片制成的,硅晶錠的晶向(晶體結構排列的方向)對于半導體器件的性能和加工工藝非常重要。

晶向包括常見的(100)、(110)和(111)晶向,不同晶向的硅表面有不同的物理和化學性質,對器件的電性能和蝕刻工藝會產生不同的影響。因此,在加工過程中必須確保晶向的正確識別。

圖片

平邊(flat)或凹槽(notch)就是用來指示晶向的。通過這些標識,可以快速確定晶圓的具體晶向,從而指導后續的晶圓加工操作。

2. 摻雜類型的識別

半導體制造過程中,硅晶圓可以通過摻雜不同的元素(如硼、磷等)來形成p型或n型導電類型。p型硅晶圓摻入的是三價元素(如硼),而n型晶圓摻入的是五價元素(如磷)。

平邊(flat)不僅指示晶向,還提供了摻雜類型的信息。通過flat的相對位置和形狀,工藝人員可以立即識別晶圓的導電類型(p型或n型),從而避免使用錯誤類型的晶圓進行器件制造。

3. 機械對準的便捷性

晶圓在制造的多個環節中需要進行定位和對準,如光刻、蝕刻、摻雜等。在這些工藝中,需要精確定位晶圓的方向,確保每一步工藝都與前一步保持一致性。

在2英寸到6英寸的晶圓上,使用平邊(flat)作為對準參考點,工藝設備可以方便地將晶圓放置到正確的位置。對于8英寸及以上的大尺寸晶圓,notch更為常見。notch更小,不占用晶圓的有效面積,并且現代自動化設備可以更容易識別和處理notch。

圖片

4. 晶圓尺寸與標識方式的關系

傳統上,2英寸到6英寸的晶圓主要使用flat,這種較大平邊的標識方便手動和半自動的設備進行對準和識別。平邊提供了足夠大的視覺參考,便于手工操作。

圖片

而8英寸及以上的晶圓由于其尺寸較大,平邊會占據較多的有效制造區域。notch的引入解決了這個問題:它僅在晶圓的邊緣留有一個很小的凹槽,既保留了標識功能,又[敏感詞]限度地提高了晶圓的有效面積利用率。

5. 可根據客戶需求定制

雖然一般情況下8英寸及以上晶圓使用notch,8英寸以下晶圓使用flat,但根據客戶的需求,也可以對標識方式進行定制。例如,一些客戶可能要求8英寸晶圓依然使用flat來滿足特定設備或工藝的需求。SEMI對wafer的標準如下:

圖片

平邊(flat)和凹槽(notch)的主要作用是提供晶圓的晶向和摻雜信息,同時幫助設備對準晶圓。在小尺寸晶圓中,flat方便手動操作,而在大尺寸晶圓中,notch能有效節省制造面積,并且與現代自動化設備更匹配。這些設計確保了晶圓加工過程的精確性和效率,同時我們一看晶圓就知道一些晶體的基本信息。

免責聲明:本文采摘自“老虎說芯”,本文僅代表作者個人觀點,不代表薩科微及行業觀點,只為轉載與分享,支持保護知識產權,轉載請注明原出處及作者,如有侵權請聯系我們刪除。

服務熱線

0755-83044319

霍爾元件咨詢

肖特基二極管咨詢

TVS/ESD咨詢

獲取產品資料

客服微信

微信客服號

主站蜘蛛池模板: 在线综合 亚洲 欧美 | 菲律宾毛片 | 久久热免费视频 | 国产亚洲精品高清视频免费 | 日韩欧美一区二区三区免费观看 | 久久久久99精品成人片三人毛片 | 中文字幕在线免费视频 | 甜性涩爱全集在线观看 | 精品欧美一区二区三区久久久 | 二级片免费看 | 天天啪免费视频在线看 | 欲插爽乱浪伦骨 | np高h肉辣一女多男 no视频在线观看 | 在线观看免费小视频 | 四虎永久在线精品国产 | 精品少妇爆AV无码专区 | 色橹 | 青青娱乐网 | 网友自拍成人在线视频 | 久久香蕉电影 | 99国产福利 | 美女一级毛片免费不卡视频 | 同房交换4p好爽 | 国产精品一库二库三库 | 欧美特级午夜一区二区三区 | 内射人妻无码色AV麻豆去百度搜 | 玩高中女同桌肉色短丝袜脚文 | 国语大学生自产拍在线观看 | 野花韩国视频中文播放 | 国产精品久久久久久久久免费下载 | 亚洲精品成A人在线观看 | 99久久精品国产一区二区三区 | 日韩视频在线观看 | 99国产精品白浆在线观看免费 | 我的美女房东未删减版免费观看 | 国产精品日本一区二区在线播放 | 狠狠色狠色综合曰曰 | 午夜亚洲国产理论片二级港台二级 | 国内精品乱码卡一卡2卡三卡 | 亚洲AV永久无码精品澳门 | WWW国产亚洲精品久久久日本 |