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ASML主流光刻機型號參數匯總

發布時間:2024-07-15作者來源:薩科微瀏覽:3745

前一陣子,半導體行業的一個重大消息就是ASML向英特爾出貨了[敏感詞]臺 NA值為0.55的EUV光刻機。當時這也多少在圈子里掀起一些波瀾,但我當時忙于其它事情,一直沒有顧上去整理相關數據

最近兩天在準備發布公眾號新數據的時候,正考慮還能發啥,便想起了這個茬,于是便打開了ASML的官網...

事實上,ASML在最近一段時間里發布的新機器還不止這一款。在浸入式ArF光刻機領域,ASML也推出了產能更高(WPH 330)的1980Fi.所以我也一并收羅進表格里

順便說一下,對于[敏感詞]的兩個型號的EUV光刻機,ASML沒有在官網上公布具體套刻精度數據,所以這個表格里我暫時只能先空白著了。希望大家理解。不過按照其官網上的說法,[敏感詞]型號的3800E設備的套刻精度(Overlay)相對之前的舊型號是有較大幅度提高的,而5000型號則沒有具體提及,我個人估計應該和3800E差不多
以下表格數據全部來自ASML公司官網公布數據。如果又差異,因該是我個人手動摘錄時的錯誤,請大家原諒。


圖片


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